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      4. 

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                                        0755-82112558
        
136-3151-6816
                                    
        
                                
        
                            
        
                        
        
                    
        
                
        
            
        
        
        
    
        

        

        
    
        
        
        
            
        
                
        
                    
        
                        
                    
        
                
        
            
        
        
        
    
        

        


        
    
        
        
        
            
        
                
        
                    
        
                        
        
                            
        
                            
                            
        
                                
        
                                    
        
                                        
        
                                            
                                        
        
                                    
        
                                
        
                            
        
                        
        
                        
        
                            
                            
        
                                
        
                                
        0755-82112558
        
136-3151-6816
        
                            
        
                        
        
                    
        
                
        
            
        
        
        
    
        

        








        
    
        
        
        
            
        
                
        
                    
        
                        
                    
        
                
        
            
        
        
        
    
        

        

        
    
        
        
        
            
        
                
        
                    
        
                        
        
                            
        
                                        

                            
        
                        
        
                    
        

                
        
                          
        
                              
        
                                  
        
                                      
                                      
        
                                          
      1. 首頁
        2. 
                                              
      2. /產品展示
        3. 
                                              
      3. /次系統
        4. 
                                          
      4. /線性馬達定位平臺
        5. 
                                      
        
                                  
        
                              
        
                          
        
                
        
            
        
        
        
    
        

        




        
    
        
        
        
            
        
                
        
                    
        
                        
        
                            
        
                                    空氣軸承定位平臺
                            
        
                        
        
                    
        
                
        
                
        
                    
        
                        
        
                            
        
                                
                            
        
                        
        
                    
        
                
        
            
        
            
        
        
        
        
        
            
        
                
        
                    
        
                        
        
                            
        空氣軸承定位平臺
        
                        
        
                    
        
                
        
                
        
                    
        
                        
        
                            
        
                                
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        針對先端半導體與面板制程設備所開發之奈米空氣軸承定位平臺。領先同業采用新型真空預壓低耗能氣浮軸承、動態反作用力平衡與慣性補償技術，可于千分之一秒內達到奈米誤差內要求，大幅減少運動整定時間與元件磨耗率，提升設備生產力與可靠性。完整智能化遠端系統偵測與全球客服支持提供，幫助客戶大幅縮短設備開發時程，節省許多整合時間與成本，使其更聚焦本身關鍵制程Know-how。
        
                
        
            
        
        
        
        
        
            
        
                
        
                    
        
                        
                    
        
                
        
            
        
            
        
                
        
                    
        
                        
                    
        
                
        
            
        
        
        
    
        

        

        
    
        
        
        
            
        
                
        
                    
        
                        
          
                        
        
                    
        
                
        
            
        
            
        
                
        
                
        
            
        

           



            
        
                
        
                    
        
                        
                    
        
                
        
            
        

            
        
                
        
                    
        
                        
                    
        
                
        
            
        
            
        
                
        
                    
        
                        
                                                
                    
        
                
        
            
        
            
        
                
        
                    
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                                        看不清,換一張!
                                    
        
                                
        
                                
        
                                    
                                
        
                                
                                
                                
                                
                                
                            
        
                        
        
                    
        
                
        
            
        
        
        
        
        
    
        

        






        




        
    
        
        
        
            
        
                
        
                    
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        6. 
    
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